適用於薄膜或任何附著於反射面材質樣品的非破壞性量測。
有不同入射角度可供選擇。
1. 用於薄膜或任何附著於反射面材質的樣品，如硬碟表面的潤滑油、塗佈於食品容器表面的聚合物等。 2. 光入射角度可調整。 3. 可選配各種材質之偏光濾鏡。
適用於：金屬表面汙染物分析(例如：矽晶圓)、超薄薄膜分析(Ultra-thin film)、單分子層(mono molecular layer)研究，搭配FTIR做使用。
1. 可變角度反射式附件 2. 反射式附件 – 30°入射角 3. 反射式附件 – 80°入射角
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