Silicon Analyzer是以高階的研發型紅外光光譜儀為基礎，搭配MappIR 及MAP300的自動晶圓量測工具。具有專用軟體，僅需選擇量測程式及放上wafer，軟體會自動量測動作並儲存報告。
．可量測2至12吋的晶元 ．標準量測模式：穿透、鏡面反射 ．可進行purge以去除大氣干擾
1. 用於實驗室晶圓分析 2. 可自動化進行多點測量 3. 可對半導體晶圓做mapping 4. 智慧及人性化的控制軟體
1. 氧氣含量測定 2. 碳含量測定 3. 半導體產業 4. 晶圓分析 5. 太陽能晶片分析
產品搜尋
會員登入/註冊
English
公司據點
