mIRage使用光學光熱紅外光譜(O-PTIR)技術,打破光學衍射限制,同時提供拉曼散射及紅外光譜等訊息,可達次微米空間解析度。
.紅外光譜範圍:
1850-800 cm-1
3600-2700 cm-1
.拉曼光譜範圍:3900-200 cm-1
.雷射波長:532 nm
.載台移動最小距離:100 nm
.載台移動範圍:110 x 75 mm
1. 同時獲得紅外及拉曼圖譜
2. 次微米紅外空間解析度
3. 非接觸量測,不破壞樣品
4. 幾乎無需樣品前處理製備
1. 缺陷分析
2. 微電子領域
3. 生命科學研究
4. 地質科學研究
5. 微物跡證分析
6. 材料分析