奈米塗層紅外光譜量測的絕佳利器(REFRACTOR2)

Refractor2量測附件是一種簡單、低成本的掠角入射光學量測附件。它非常適合用於量測金屬基板上的薄膜材質光譜。其入射角固定為 75°，可獲得相當出色的光譜比對結果。由於取樣量測載台寬敞，所以可輕鬆分析大型面板樣品。

圖1.Refractor2量測附件實體圖

傳統的掠角入射附件有兩個常見缺點。第一，採用的短平面鏡不能完全攔截光譜儀的射入光束，而導致光通量的損失。其次，通常需要外部偏光鏡。這種外部偏光鏡相當昂貴。而Refractor2克服了這兩個缺點。

圖2.Refractor2的設計結構

在 Refractor2 中，光束通過楔形 ZnSe 窗口偏轉進出樣品(見圖2)。 這種設計具有最佳光通量的效果。兩個 ZnSe視窗口採用SuperCharged技術，提供了Refractor2 相對於傳統型掠角附件，兩倍以上的光譜吸收感度。單個布魯斯(Brewster)特角矽偏振片位於取樣平面下方，以提供所需的平行偏振篩選。

圖3.鋁基板上的 SiO2光譜

圖3顯示了鋁基板上大約 500 Å的二氧化矽薄膜的光譜。而在圖4中，可看到鋁基板上100Å厚度的矽潤滑劑層的光譜。

圖4.鋁基板上有機矽潤滑劑的光譜

Refractor2 隨件附有安裝在Nicolet iS系列的光譜儀中，所需的所有安裝硬體零件，其校正快速且操作簡單。更換為KRS-5材質的視窗，便可供作為波數低於 500 cm^-1的光譜訊號分析。Refractor2 的反應室構型也可根據客戶需求，用於在真空或加壓環境中進行分析樣品。

參考資料

https://www.harricksci.com/ftir/accessories/group/Refractor2%E2%84%A2-Grazing-Angle-Accessory